（全球TMT2024年7月15日讯）近来，天准科技参股的姑苏矽行半导体技能有限公司宣告，公司面向40nm技能节点的明场纳米图形晶圆缺点查验测验设备TB1500已完结厂内验证。这是继上一年8月，天准科技正式交给面向12英寸晶圆65~90nm技能节点的宽波段明场缺点查验测验设备TB1000不到一年后，再次获得的阶段性新发展。

  作为国产半导体设备厂商的代表，矽行半导体成立于2021年11月。TB1500是矽行半导体最新的研制效果，中心中心部件悉数完结自主可控，一起采用了先进的信号处理算法，有用提高信噪比和检测灵敏度。为满意40nm技能节点的工艺制程需求，TB1500提高了光源亮度和感度，增大了物镜视界和速度，可以捕捉更小缺点尺度。矽行半导体面向28nm技能节点的TB2000设备当时发展顺畅，各中心零部件均已完结开发，方案于2024年末发布样机。